طريقة تبخر شعاع الإلكترون هي نوع من طلاء التبخر الفراغي، الذي يستخدم حزم الإلكترون لتسخين مادة التبخر مباشرة في ظل ظروف الفراغ، وتبخير مادة التبخر ونقلها إلى الركيزة، والتكثيف على الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. في جهاز التسخين بشعاع الإلكترون، يتم وضع المادة الساخنة في بوتقة مبردة بالماء، مما يمكن أن يتجنب التفاعل بين مادة التبخر وجدار البوتقة ويؤثر على جودة الفيلم. يمكن وضع بوتقات متعددة في الجهاز لتحقيق تبخر وترسيب المواد المختلفة بشكل متزامن أو منفصل. مع تبخر شعاع الإلكترون، يمكن أن تتبخر أي مادة.
يمكن أن يؤدي تبخر شعاع الإلكترون إلى تبخير المواد ذات نقطة الانصهار العالية. بالمقارنة مع تبخر التسخين بالمقاومة العامة، فهو يتمتع بكفاءة حرارية أعلى، وكثافة تيار شعاع أعلى، وسرعة تبخر أسرع. فيلم وفيلم من مواد بصرية مختلفة مثل الزجاج الموصل.
إن خاصية تبخر شعاع الإلكترون هي أنه لن يغطي أو نادرًا ما يغطي جانبي الهيكل المستهدف ثلاثي الأبعاد، وعادةً ما يترسب فقط على السطح المستهدف. هذا هو الفرق بين تبخر شعاع الإلكترون والاخرق.
يُستخدم تبخر شعاع الإلكترون بشكل شائع في مجال أبحاث وصناعة أشباه الموصلات. يتم استخدام طاقة الإلكترون المتسارعة لضرب الهدف المادي، مما يتسبب في تبخر الهدف المادي وارتفاعه. أودعت في نهاية المطاف على الهدف.
وقت النشر: 02 ديسمبر 2022